太陽能光伏系統(tǒng)是指利用光伏單晶硅、多晶硅等半導(dǎo)體材料的光生伏打效應(yīng)將太陽能轉(zhuǎn)化為直流電能的設(shè)施。核心是太陽能電池板。真空技術(shù)用在單晶硅和多晶硅的燒結(jié)爐中，可防止雜質(zhì)污染，防止和其他氣體的反應(yīng)，提高拉晶純度。

真空技術(shù)在硅片、電池、封裝線和光伏成品模塊等工件搬運時，精準(zhǔn)而高效。在其表面避免留下痕跡或?qū)ζ湓斐?/span>二次污染。在PE刻蝕擴散中也需用到真空設(shè)備。

 光伏行業(yè)主要應(yīng)用以下類型真空泵：螺桿真空泵、旋片真空泵、渦旋泵和羅茨機組等。